三星电子5日宣布:“2月起,我们在世界上最早实现了18纳米(1纳米等于10亿分之一米)DRAM量产。”“18纳米DRAM和之前的20纳米级产品相比,生产性高出30%。”三星有关人士说:“18纳米DRAM比20纳米DRAM的运算速度快30%,耗电量低20%以上。”
三星电子已将18纳米DRAM新技术运用于生产。代表性技术是在硅基上排列比之前密集4倍的回路。由此,向基底发射光束刻回路的露光工程效率被提升至之前的4倍。
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